Электронная плавиковая кислота (ЭПК) 

Электронная плавиковая кислота

Английское название: hydrofluoric acid, молекулярная формула: HF, молекулярная масса: 20.01. Представляет собой бесцветную прозрачную жидкость, относительная плотность 1.15~1.18, температура кипения 112.2 °C, дымит на воздухе, обладает раздражающим запахом, чрезвычайно токсична. Может реагировать с обычными металлами, оксидами металлов, а также гидроксидами с образованием различных солей. Обладает чрезвычайно сильной коррозионной активностью, может разъедать стекло и силикаты с образованием газообразного тетрафторида кремния. Легко растворяется в воде и спирте, плохо растворяется в других органических растворителях. Высокочистая плавиковая кислота является сильнокислотным очищающим и травящим агентом, может использоваться в комбинации с азотной кислотой, ледяной уксусной кислотой, перекисью водорода и гидроксидом аммония и др.

Методы получения

1.Метод ректификации2.Метод дистилляции 3. Суббоельная (субкипящая дистилляция) 4. Вакуум-дистилляция 5.Абсорбция газа

Вышеуказанные технологии очистки имеют свои особенности и преимущества. Например, технология суббоiling может использоваться только для производства небольших количеств продукта, а технология газопоглощения пригодна для крупномасштабного производства. Кроме того, из-за сильной коррозионной активности плавиковой кислоты, при использовании дистилляционных процессов с более высокими температурами коррозия усиливается, поэтому используемое дистилляционное оборудование обычно должно изготавливаться из благородных металлов, таких как платина, золото, серебро, или материалов с высокой коррозионной стойкостью, таких как политетрафторэтилен.

Технология производства

Безводная плавиковая кислота (разработчик национального стандарта: АО Дофудуо Химическая Промышленность) после химической предварительной обработки поступает в ректификационную колонну, где осуществляется процесс ректификации. Полученный фтороводородный газ после охлаждения поглощается в абсорбере сверхчистой водой, и путем контроля плотности орошения, газожидкостного соотношения и других методов электронная плавиковая кислота дополнительно очищается. Затем следует этап ультрафильтрации с размером пор менее 0,2 мкм, и, наконец, в условиях замкнутой чистой среды (класс чистоты не хуже 100) производится розлив для получения конечного продукта — электронной плавиковой кислоты.

Стандарты качества

В настоящее время, поскольку требования различных предприятий микроэлектронной промышленности к стандартам электронной плавиковой кислоты различаются, ее можно разделить на четыре уровня:

1.Продукция низкого уровня, используется для изготовления ИС по технологии >1.2 мкм;

2.Продукция средненизкого уровня, применима для изготовления ИС по технологии 0.8~1.2 мкм;

3.Продукция средневысокого уровня, применима для изготовления ИС по технологии 0.2~0.6 мкм;

4.Продукция высокого уровня (UPSS), применима для изготовления ИС по технологии 0.09~0.2 мкм и <0.09 мкм.

Области применения

Применяется для очистки и травления чипов интегральных схем (ИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС), является одним из ключевых основных химических материалов в процессе производства микроэлектронной промышленности, также может использоваться в качестве аналитического реагента и для приготовления высокочистых фторсодержащих химических веществ. В настоящее время в Китае она в основном используется в качестве травителя и очищающего агента в микроэлектронной промышленности, в других областях объемы потребления невелики.

Развитие отрасли

После того, как Китай наладил промышленное производство безводной плавиковой кислоты, это обеспечило сырьевую базу для выхода Китая на рынок высокочистой электронной плавиковой кислоты, и китайская фторхимическая промышленность вступила в новую историческую эпоху.